1、真空泵漏油 
　　漏油是真空泵的常见故障之一，主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上，其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化，密封失效，从而导致漏油。 
　　油窗漏油，是因为真空泵使用时间过长而使油窗老化，引起破裂，或油窗与油箱的粘合剂老化失效，从而导致泵油渗出；电机轴上有前油封和后油封两个油封，任何一个老化失效都回引起漏油；油箱通过适配器与电机相连，油箱与适配器的结合处有一个密封圈，起到油箱的密封作用，如果它老化同样可以引起真空泵漏油。另外，在适配器上有一个毛毡垫，它起回收泵油的作用，如果它吸油已满，真空泵也会发生渗油。 
　　解决漏油的法是更换老化的油窗、轴封、密封垫和已吸满泵油的毛毡垫。维修完成后，注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵，并用溶剂清洗注油口处的滤网，保持油箱的清洁。 
2、真空泵抽不到的极限真空度 
　　当该故障发生时，应当首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次，应当打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。 
　　在排除以上两个因素后，引起真空泵抽不到极限真空度的主要原因有以下几个方面：泵油污染，需要换油；泵内油过滤器堵塞，引起压缩注油系统油路不畅，供油不足，导致泵体密封不严，这时需要清洗内部油过滤器；配油器阀门变形，磨损或损坏，也可导致供油不足，这时应检查更换配油器阀门；长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降，这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔；检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时更换排气阀门。 
3、真空泵的电机运转中途停止 
　　这是由于电压太大、电源缺相油位超过油位下限，可以通过暂停使用、检查电源来消除这样的情况。如果启动不正常，那么就是电气组件故障，只要更换电气组件就可以了。 
4、真空泵进水 
　　如果真空泵进水是由于冷却器积水过多，水被抽到真空泵内处理的油中含水量多，其水蒸汽未能在冷却器中冷却成水而进入真空泵，可通过观察冷却器上的液位计，若水位过高，应及时放掉，应清洗真空泵，更换真空泵油消除这样的情况